Molecular Flow Module

Pour la Simulation des Ecoulements de Gaz à Basse Pression dans les Systèmes sous Vide

Molecular Flow Module

Dans un implanteur ionique, la densité volumique moyenne de molécules dégazées dans la trajectoire du faisceau sert de facteur de mérite pour évaluer le design. Il doit être calculé en fonction d'un angle lié au wafer, avec une rotation autour d'un axe.

Simulation Précise des Ecoulements à Basse Pression et à Faible Vitesse

Le Molecular Flow Module est conçu pour offrir de nouvelles fonctionnalités permettant la simulation précise des écoulements de gaz à basse pression et à faible vitesse dans des géométries complexes. Il convient parfaitement à la simulation de systèmes sous vide, notamment ceux employés dans la fabrication des matériaux semiconducteurs, les accélérateurs de particules et les spectromètres de masse. Il s'utilise également dans les applications pour des systèmes de canalisation de petite taille (comme pour l'exploration de gaz de schiste et les écoulements dans les matériaux nanoporeux).

Le Molecular Flow Module s'appuie sur une méthode de calcul rapide du coefficient angulaire pour simuler des écoulements moléculaires libres et en équilibre. Vous pouvez simuler des écoulements moléculaires isothermes et non-isothermes et déterminer la contribution des molécules de gaz dans le flux thermique. La méthode à vitesses discrètes est également disponible pour vous permettre de simuler des écoulements transitionnels.

Deux Méthodes pour Simuler les écoulements Transitionnels et Moléculaires Libres

Le Molecular Flow Module offre deux méthodes pour simuler ces régimes et vous permet de résoudre les problèmes d'écoulement à faible vitesse et à basse pression de façon précise et sans difficulté. Deux interfaces physiques sont spécialement configurées pour cela :

Differential Pumping

Molecular Flow in an Ion Implant Vacuum System

Molecular Flow Through a Microcapillary

Rotating Plate in a Unidirectional Molecular Flow

Adsorption and Desorption of Water in a Load Lock Vacuum System

Outgassing Pipes

Molecular Flow in an RF Coupler