4 Methoden, um Niederdruck-Gasströmungen zu modellieren - archiviert

Vakuum- und Niederdrucksysteme werden für unterschiedliche Zwecke, wie Elektronenmikroskope oder in der Halbleiterherstellung, eingesetzt. Forscher und Entwickler, die mit Vakuumsystemen arbeiten, nutzen verstärkt Simulation für eine effizientere Entwicklung und zur Reduktion kostspieliger Prototypen. Allerdings sind bei den dabei auftretenden geringen Drücken die üblichen Kontinuumsgleichungen (Navier-Stokes-Gleichungen) zur Beschreibung von Gasströmungen nicht mehr gültig. An ihre Stelle treten andere Ansätze, die ihre eigenen Gültigkeits- und Anwendungsbereiche haben.

Im Webinar erfahren Sie, welche 4 Modellierungsmethoden für verdünnte Gasströmungen es in COMSOL Multiphysics® gibt und welche Methode in welcher Situation die beste Wahl ist. In einer Live-Demonstration wird gezeigt, wie man mit einer der Methoden die Strömung in einer Ionen-Implantationsanlage berechnen kann, um damit ungewollte Ausgasungseffekte auf den Ionenstrahl zu analysieren. Ihre Fragen werden im Anschluss an die Präsentation direkt beantwortet.

In Kooperation mit www.pro-physik.de – das führende Physik-Portal von Wiley