La Bibliothèque d'Applications présente des modèles construits avec COMSOL Multiphysics pour la simulation d'une grande variété d'applications, dans les domaines de l'électromagnétisme, de la mécanique des solides, de la mécanique des fluides et de la chimie. Vous pouvez télécharger ces modèles résolus avec leur documentation détaillée, comprenant les instructions de construction pas-à-pas, et vous en servir comme point de départ de votre travail de simulation. Utilisez l'outil de recherche rapide pour trouver les modèles et applications correspondant à votre domaine d'intérêt. Notez que de nombreux exemples présentés ici sont également accessibles via la Bibliothèques d'Applications intégrée au logiciel COMSOL Multiphysics® et disponible à partir du menu Fichier.
This tutorial model explores the behavior of a microwave plasma torch. The plasma is generated within a dielectric tube inserted in a rectangular waveguide. The simulation solves the coupled equations for plasma transport and heating, microwave electromagnetic fields, fluid flow, and ... En savoir plus
This tutorial studies the deposition of amorphous silicon using an inductively coupled plasma reactor with a silane/argon gas mixture. It examines how the deposition rate varies across the wafer as a function of silane mole fraction and input power. En savoir plus
In this example, the etching of silicon in a CF4/O2 plasma reactor is studied using a global model. Parametric sweeps for ion energy and oxygen mole fraction are computed. En savoir plus
This tutorial studies the etching of silicon using an inductively coupled plasma reactor with an RF bias in a mixture of CF4/O2. The etching rate is computed along the wafer as a function of the RF bias voltage. En savoir plus
Electron transport in low-temperature plasmas depends strongly on the electron energy distribution function (EEDF), which is often approximated as Maxwellian but is frequently nonequilibrium in reality. Incorporating nonequilibrium EEDF behavior into spatially dependent models often ... En savoir plus