Points forts de COMSOL Multiphysics^® 6.1

Mises à jour du module Plasma

Pour les utilisateurs du module plasma, la version 6.1 de COMSOL Multiphysics^® offre la possibilité de modéliser des réacteurs à plasma couplés avec une polarisation RF périodique, un nouvel add-in Chimie du Plasma qui crée une chimie complète du plasma à partir d'un fichier texte pour les modèles, et quatre nouveaux tutoriels. Vous trouverez plus d'informations sur ces mises à jour ci-dessous.

Interface multiphysique pour plasma à couplage inductif avec polarisation RF

La nouvelle interface multiphysique Plasma à couplage inductif avec polarisation RF couple les interfaces Plasma, périodique en temps et Champs magnétiques pour modéliser les réacteurs plasma à couplage inductif (ICP) avec une excitation périodique radiofréquence capacitive. Le champ magnétique est résolu dans le domaine fréquentiel, et les équations de transport du plasma sont résolues pour un état stationnaire périodique. Cette interface est dédiée à la modélisation des réacteurs à plasma avec des mécanismes de couplage inductif et capacitif et peut être visualisée dans le nouveau modèle Modèle d'un réacteur plasma à couplage inductif argon-chlore avec polarisation RF.

Résultats de la simulation d'un réacteur plasma à couplage inductif avec polarisation RF fonctionnant avec un mélange d'argon et de chlore.

Add-In Chimie du plasma

L'Add-in Chimie du plasma crée automatiquement une chimie complète du plasma à partir d'un fichier texte pour les modèles utilisant les interfaces Plasma et Plasma, périodique en temps. Avec cet Add-in, vous pouvez spécifier les aspects de chimie du plasma dans le fichier, par exemple les paramètres thermodynamiques des propriétés des espèces, les réactions d'impact électronique à partir des sections efficaces et des constantes de vitesse, les réactions des espèces lourdes et les réactions de surface. Les nouveaux modèles ci-dessous utilisent cette fonctionnalité :

• Modèle d'un réacteur plasma à couplage inductif argon-chlore avec polarisation RF
• Modèle d'un réacteur plasma à couplage inductif argon-oxygène
• Modèle d'un réacteur à plasma à couplage capacitif d'argon et d'oxygène

L'Add-in Chimie du plasma (à gauche) est utilisé pour importer un fichier de chimie du plasma argon-chlore (à droite). Les caractéristiques du plasma sont automatiquement créées par l'add-in.

Nouveaux tutoriels

La version 6.1 de COMSOL Multiphysics^® apporte quatre nouveaux tutoriels au module Plasma.

Modèle d'un réacteur plasma à couplage inductif d'argon et de chlore avec polarisation RF

Résultats de la modélisation d'un réacteur plasma à couplage inductif avec polarisation RF fonctionnant dans un mélange d'argon et de chlore. Ce tutoriel utilise l'interface Plasma à couplage inductif avec polarisation RF pour modéliser un réacteur à plasma à couplage inductif d'argon et de chlore avec une excitation périodique RF capacitive. Le champ magnétique est résolu dans le domaine fréquentiel et le plasma est résolu pour une solution périodique. L'écoulement du fluide et le chauffage du gaz sont résolus de manière autoconsistante avec le modèle de plasma.

Nom de l'application:
icp_ccp_argon_chlorine
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Modèle d'un réacteur plasma à couplage inductif d'argon et d'oxygène

Ce tutoriel modélise un réacteur plasma à couplage inductif argon–oxygène. L'écoulement des fluides et le chauffage des gaz sont résolus de manière autoconsistante avec le modèle plasma. Le nouvel add-in Chimie du Plasma est utilisé pour importer une chimie complète du plasma à partir d'un fichier. Les aspects importants et les stratégies de modélisation des décharges électronégatives sont discutés dans les fichiers associés au modèle.

Nom de l'application:
icp_argon_oxygen
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Modèle d'un réacteur plasma couplé capacitivement à argon et oxygène

Densité moyenne en temps des espèces chargées dans un réacteur plasma à couplage capacitif (CCP) pour des fractions molaires d'argon et d'oxygène de 0.1 et 0.9, respectivement. Ce modèle présente une étude d'un plasma argon-oxygène entretenu entre deux électrodes métalliques par une excitation électrique de 13.56 MHz. La fraction molaire d'oxygène est paramétrée, et il est possible d'observer une transition en ions positifs dominants. Le cœur de la décharge est électronégatif, les ions négatifs (bleu foncé) constituant les porteurs de charge négative dominants. La densité d'ions négatifs chute rapidement vers les bords, où les électrons (bleu clair) sont les porteurs de charge négative dominants.

Nom de l'application:
ccp_argon_oxygen
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Analyse de Boltzmann de l'air sec

Fonction de distribution de l'énergie électronique (logarithme décimal) en fonction de l'énergie électronique paramétrée pour plusieurs énergies moyennes des électrons. Dans ce modèle, l'équation de Boltzmann dans son approximation à deux termes est résolue pour un mélange d'azote et d'oxygène à 80:20 (pour représenter l'air sec) afin d'obtenir la fonction de distribution de l'énergie électronique (EEDF), les paramètres de transport macroscopiques et les termes sources qui peuvent être utilisés dans un modèle de type fluide. Ce tutoriel explique également comment préparer l'EEDF pour l'export afin qu'elle puisse être utilisée dans l'interface Plasma.

Nom de l'application:
boltzmann_dry_air
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