Ressources
Livres Blancs
- Bridging the Terahertz Gap
- Modeling the Lithium-Ion Battery
- Protection contre la Corrosion
- Modélisation des batteries
- Modélisation et Simulation dans le développement des piles à combustible
- Modélisation thermique des petits satellites
- Analyse électro-vibroacoustique d'un transducteur à armature équilibrée
Dynamic Simulation of Electrochemical Etching of Silicon with COMSOL
Publié en 2012
In the presented work the dynamic simulation of a silicon anodization process is performed. Two mechanisms of etch form development (diffusion in electrolyte, current flow) are considered and simulated. Influence of electrolyte conductivity and radius of the opening in the masking layer is discussed.
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