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Ici vous trouverez les présentations issues des Conférences COMSOL à travers le monde. Réalisées par des utilisateurs de COMSOL Multiphysics, ces présentations explorent tous les domaines actuels d'innovation. Les applications couvrent pratiquement tous les secteurs industriels et impliquent des phénomènes électriques, mécaniques, fluidiques et chimiques. Utilisez la recherche rapide pour trouver les présentations les plus intéressantes dans votre domaine d'intérêt.

Parameter Extraction and Support-Loss in MEMS Resonators

Peter Steeneken
Project Leader
RF MEMS Research Group
NXP Semiconductors
Eindhoven, The Netherlands

In this paper it is shown how the equivalent circuit parameters of a MEMS resonator can be simply obtained from an eigenfrequency simulation. Additionally, it is demonstrated that the Q-factor as a result of support losses in a MEMS resonator can be determined using a matched boundary layer. The method is applied to calculate the frequency dependent admittance of a diamond disk resonator. Results ...